全自動雙腔設計,可兼容6-8英寸WAFER
支持數字通信接口和模擬通信接口,可對接MES系統
超低處理溫度45℃,不造成熱影響,確保穩定的處理效果
采用晟鼎專利中頻數字電源,確保等離子體均勻,處理過程穩定
專門針對半導體行業的微波在線片式真空等離子清洗機,針對半導體芯?粘接前處理、塑封前處理、光刻膠去除、?屬鍵合前處理。等離子體不帶電,不對精密電路造成損害,采用磁約束方式,可兼容微波結和磁路。
SPR-08是一款基于電感耦合等離子體技術的自成一體的原子發生器,它的功能是用于半導體設備工藝腔體原子級別的清潔,使用工藝氣體三氟化氮(NF3)/O2,在交變電場和磁場作用下,原材料氣體會被解離,從而釋放出自由基,活性離子進入工藝室與工藝室上沉積的污染材料(SIO/SIN)或者殘余氣體(H2O、O2、H2、N2)等物質產生化學反應,聚合為高活性氣態分子經過真空泵組抽出處理腔室,提高處理腔室內部潔凈度。
功能齊全、性價比非常高的科研系列接觸角測量儀
快速有效清除產品表面浮沉顆粒,3um塵粒97%的清除率,6um塵粒98%的清除率
晟 鼎 | PLASMA處理及性能檢測方案
致力于為全球用戶提供專業的表面處理與檢測整體解決方案
價值觀:以客戶為中心,專業、高效、信賴、共贏
創立于
專利技術
手機行業市場占有率
研發人員
匯智聚力,科創未來
敢拼敢想的創新精神和極其專注的務實作風
堅持自主研發,助力“中國智造”!
在真空環境中,通過施加高頻電場產生的等離子體,使等離子體在電場內的運動,利用高能粒子物理轟擊和化學反應,達到清洗、活化、改性的效果。晟鼎大腔體真空等離子清洗機的腔體可針對特定的工件尺寸和形狀進行腔體尺寸選擇和空間規劃,可處理多尺寸和復雜形狀的產品。
等離子體是物質的第四態,是不同于固態、液態和氣態的電離態物質,由自由電子、離子和中性粒子組成的宏觀電中性混合體。當外界向氣體施加足夠能量時,氣體分子或原子會發生電離,從而形成等離子體。這種能量可以來自多種形式,包括:高溫、強電場、電磁輻射(如紫外線、X射線)、激光或粒子轟擊, 這些能量使氣體部分或完全電離,最終形成等離子體狀態。
在高端制造業飛速發展的今天,表面處理工藝已成為決定產品性能、可靠性與良品率的關鍵環節。等離子清洗機,作為一項高效的干式表面處理設備,正廣泛應用于半導體封裝、新能源、汽車制造、消費電子等領域。在眾多國內廠家中,東莞市晟鼎精密儀器有限公司憑借其深厚的技術積累和豐富的行業應用經驗,已成為這一領域的可靠選擇。
晟鼎大氣射流等離子清洗機在常壓環境下,利用高壓激勵電源產生等離子體,通過物理轟擊與化學反應共同作用于傳感器表面,為保障汽車智能感知系統的高可靠性運行提供了關鍵技術支撐。
在封裝行業中,等離子清洗是一種先進的清洗技術,它可以通過改性表面,增強粘合、去除污染物,增強表面附著力、增強產品的質量、提高良率、降低成本和提高生產效率等方面,為封裝過程提供更好的環境和條件。